电子显微镜的新技术和发展趋势分析
2021-02-10
按照中心布置,在校图书馆电子文献库检索(电子显微镜的*新技术和发展)检索到相关文献,其中全国分析测试学会微观结构专业评议组新一代电子显微镜的发展趋势及应用特点和中科院电子显微镜实验室姚骏恩院士电子显微镜现状与展望;国家生物医学分析中心张德添教授为“2
按照中心布置,在校图书馆电子文献库检索(电子显微镜的*新技术和发展)检索到相关文献,其中全国分析测试学会微观结构专业评议组新一代电子显微镜的发展趋势及应用特点和中科院电子显微镜实验室姚骏恩院士电子显微镜现状与展望;国家生物医学分析中心张德添教授为“2009中国科学仪器发展年会”介绍了电镜的*新技术;主要电镜公司的产品简介整理如下:
一、高性能场发射***电子显微镜日趋普及和应用。
场发射***透射电镜能够提供高亮度、高相干性的电子光源。因而能在原子纳米尺度上对材料的原子排列和种类进行综合分析。九十年代中期,全世界只有几十台;现在已猛增至上千台。我国目前也有上百台以上场发射***透射电子显微镜。常规的热钨灯丝(电子)***扫描电子显微镜,分辨率*高只能达到 3.0nm;新一代的场发射***扫描电子显微镜,分辨率可以优于1.0nm;*高分辨率的扫描电镜,其分辨率高达0.5nm-0.4nm。其中环境描电子显微镜可以做到:真正的“环境”条件,样品可在100%的湿度条件下观察;生物样品和非导电样品不要镀膜,可以直接上机进行动态的观察和分析;可以“一机三用”。高真空、低真空和“环境”三种工作模式。
二、努力发展新一代单色器、球差校正器,以进一步提高电子显微镜的分辨率
球差系数:常规的透射电镜的球差系数 Cs约为mm级;现在的透射电镜的球差系数已降低到 Cs<0.05mm.色差系数:常规的透射电镜的色差系数约为 0.7;现在的透射电镜的色差系数已减小到0.1。
场发射透射电镜、STEM技术、能量过滤电镜已经成为材料科学研究,甚至生物医学必不可少的分析手段和工具.
物镜球差校正器把场发射透射电镜分辨率提高到信息分辨率.即从0.19nm提高到0.12nm甚至于小于0.08nm.
利用单色器,能量分辨率将小于0.1eV.但单色器的束流只有不加单色器时的十分之一左右.因此利用单色器的同时,也要同时考虑单色器的束流的减少问题。
聚光镜球差校正器把STEM的分辨率提高到小于0.1nm的同时,聚光镜球差校正器把束流提高了至少10倍,非常有利于提高空间分辨率。
在球差校正的同时,色差大约增大了30%左右. 因此,校正球差的同时,也要同时考虑校正色差.
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